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    无尘室(shì)操作(zuò)需要(yào)注意什么


    1. 处理芯(xīn)片时(shí),必须(xū)戴上无纤(xiān)维手套,使(shǐ)用清洗(xǐ)过(guò)的(de)干净镊子挟持芯(xīn)片,请勿以手指或其它任何东西接触(chù)芯片,遭碰触污染过(guò)的芯片须经清洗,方得继续使(shǐ)用:

    (1) 任何一支镊子前端(即挟持(chí)芯片端)如被(bèi)碰(pèng)触过,或是镊子掉(diào)落地(dì)上,必须拿去清洗请勿用纸巾或布(bù)擦拭脏镊子。

    (2) 芯片清洗(xǐ)后进行下一程序前,若被手指碰触过,必(bì)须重(chóng)新清洗。

    (3)把(bǎ)芯片放置于石(shí)英舟上,准备进(jìn)炉管时,若发现所用镊子有污损现象或芯片上(shàng)有显眼由镊子所引起的污染,必须(xū)将(jiāng)芯片重新清洗,并(bìng)立即更(gèng)换干净的镊子(zǐ)使用。

    2. 芯片(piàn)必须放置盒中,盖起来存(cún)放(fàng)于规(guī)定(dìng)位置(zhì),尽可能不(bú)让它暴露。

    3.避免在芯片(piàn)上谈话(huà),以防止(zhǐ)唾(tuò)液溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,请特别注意(yì),防止上述动作产(chǎn)生,若芯片上(shàng)沾有纤维屑时,用氮气枪喷之(zhī)。

    4. 从铁弗龙(Teflon)晶舟(zhōu),石英(yīng)舟(zhōu)(QuartzBoat)等载具(jù)(Carrier)上,取出芯片时,必须(xū)垂直向(xiàng)上挟起,避免(miǎn)刮(guā)伤(shāng)芯片(piàn),显微(wēi)镜(jìng)镜头确已离芯片,方可(kě)从吸座上移走芯片。

    5. 芯片上,若已长上氧化层,在送黄光室前切(qiē)勿用钻石刀在芯片上刻记。

    6. 操作时(shí),不论是否戴(dài)上手套(tào),手绝不能(néng)放进(jìn)清洗水槽。

    7. 使用(yòng)化学站(zhàn)或烤箱处(chù)理芯片时,务(wù)必将芯片(piàn)置(zhì)放于(yú)铁弗龙晶舟内,不可使用塑料盒。

    8. 摆置芯(xīn)片于石英舟时,若芯片(piàn)掉落地上(shàng)或手中则必须重(chóng)新清洗芯片,然后再进氧化炉。

    9. 请勿触摸芯片盒内(nèi)部,如被碰触或有碎芯片污(wū)染,必(bì)须重作清(qīng)洗。

    10. 手(shǒu)套,废(fèi)纸(zhǐ)及其它杂碎东西,请(qǐng)勿留置于操作(zuò)台,手套若烧焦、磨破或(huò)纤维质变多必须换新。

    11. 非(fēi)经指示(shì),绝不可开启不熟悉的仪器及各种开(kāi)关阀控(kòng)制钮或把手。

    12. 奇怪的味(wèi)道或反应异常的溶(róng)液,颜色(sè),声响等请即通知相关人(rén)员。

    13. 仪器因(yīn)操作错误而有任何损坏时,务必立刻告知负责人(rén)员或老(lǎo)师。

    14. 芯(xīn)片盒进出无(wú)尘室(shì)须保持干净,并以保鲜(xiān)膜封装,违者不得进(jìn)入。

    15. 无(wú)尘室内(nèi)一律使用(yòng)原子笔及无尘笔记(jì)本做(zuò)记录,一般纸张(zhāng)与铅(qiān)笔不得携入。


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